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GB50467-2008微电子生产设备安装工程施工及验收规范.pdf
2020-11-11 14:21:32
规范状态：现行
文件大小：未知
文件格式：pdf
实施日期：2009-07-01
分享会员：紫****焉
上传日期：2020/11/11
修改日期：2020/11/11
类别：工程建设国家标准（GB）
专业：设备安装
适用范围：本规范适用于集成电路、半导体分立器件生产设备安装工程的施工及验收。本规范不包括集成电路及半导体分产器件生产设备联动调试及试生产。
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